故障一：排氣不暢故障，氬氣排氣管路堵塞，火花室下部的彎頭內有異物，氬氣過濾器入口端有異物。
處理辦法：更換排氣管，要更換透明的塑料管，并定期對排氣管路進行吹掃。

故障二：新儀器電腦出現死機，程序錯誤、黑屏、分析軟件的START狀態不對有時變為黃色不動，有時雖然動但是變為紅色。
處理辦法：此為通訊線接觸不良，重新連接即可。

故障三：真空泵不自動啟動故障，
處理辦法：先看泵油溫度是否較低，重新斷電后，手動啟動真空泵，有時需停頓一下，再試。

故障四：溫度偏高故障
處理辦法：檢查儀器后蓋風扇是否轉動，轉動是否靈活。

故障五：P、S穩定性不好，檢查真空泵是否被誤關掉，真空光路鏡片是否需要清洗，一個維護不好的光路會導致錯誤的重現性和分析結果。
處理辦法：檢查真空泵及清洗鏡片

故障六：真空值下降快故障
處理辦法：看真空值曲線是否平緩，否則，有漏氣的地方，檢查真空室真空蓋密封性，更換密封圈或對角緊固螺絲。

故障七：光強值下降
原因分析：
1、透鏡臟
2、入射狹縫污染
3、光纖老化
處理辦法：擦拭透鏡，清理狹縫，更換光纖。
經驗總結：光譜儀用久了，激發臺會因點打的太多了，出現放電漏氣現象，導致光強上不去，需要經常清理激發臺板及火花室。

故障八：數據不穩定
處理方法：清洗鏡片后重新做標準化，直讀光譜儀鏡片的污染會導致數據測試的結果不穩定，長時間沒有做儀器的曲線校準也會導致數據測試穩定性不好。